基本參數
應用行業
電源頻率
40KHz/13.56MHz
容量
30L
功率
0~500W（可調）
腔體尺寸(mm)
300*300*300
處理層數
7
外形尺寸(mm)
650W*700D*1400H
真空泵
油泵/干泵+羅茨組合
真空度
5~100Pa（可調）
腔體材質
316不銹鋼/進口鋁合金（選配）
氣體流量控制
0~500SCCM(MFC±2%)
氣體通道
兩路(可增加)：Ar/N2/H2/CF4/O2
等離子體發生器
40KHz/13.56MHz(選配)
腔體溫度
＜30度
控制方式
PLC+觸摸屏
系統控制軟件
自主研發
電極陶瓷
進口高頻陶瓷
產品特點
真空等離子清洗機腔體、電源、真空泵等各類配件可以按照實際清洗的材料自由定做，與常壓等離子相比，具有清洗工藝參數自由調節、溫度低，清洗全面等特點。
廣泛應用于活化，退鍍，改性，蝕刻，提升附著力和清洗等等功能。該設備也是目前清洗行業最環保，最節能，有效性好的理想設備
主要功能：蝕刻：對于光致抗蝕劑聚酰亞膠的殘留和以硅化物為基本成分的涂層等材料的清除很有用粘附提升：往基質上添加活化能力強的化學基團以提高其粘合劑的黏著度。
清洗：清除材料上的光學物質的污染以及清除有機物殘留，氧化和金屬鹽等對材料的污染。
活化：能使處理基材表面生成所需化學極鍵；退鍍：使被處理基材除去金屬等材料，制作各種產品。
