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    深圳市東信高科自動化設備有限公司
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    等離子清洗機
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    首頁 產品中心 等離子刻蝕機 6~8英寸標準型刻蝕機 15L晶圓刻蝕機

    15L晶圓刻蝕機

    產品型號:TS-PL15MA

    產品簡介: 晶圓刻蝕

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    晶圓刻蝕機高配版:TS-PL15MA/P

    1.真空腔規格: 材質316不銹鋼 L270mm*W280mm*H200mm
    2.電極:平板氣浴電極,材質6061-T6鋁合金
    功率電極:1
    接地電極:1
    3. 電極尺寸:230mm *230mm(最大可處理產品尺寸,可處理8寸晶圓)
    4. 頻率:13.56MHz
    5. 功率:0-300W連續可調,可在設備運行中隨時調整參數。
    6. 氣體控制:MFC質量流量計, 0-500ml   2路氣體
    7. 真空度測量儀器: 2色顯示式高精度數字式壓力開關(SMC)
    8. 控制方式:7寸工業控制觸摸屏,全手動控制和全自動控制兩種控制方式
    9. 控制軟件功能:界面顯示實時工作狀態
    10.設備規格尺寸:長600mm 寬600mm 高700mm
    11.電極板配置:配備3個卡槽位(接地電極),極板間距離可調整,可按需求調整極板位置


    晶圓刻蝕機標配版:TS-PL15MA

    1.真空腔規格: 材質316不銹鋼 L270mm*W280mm*H200mm
    2.電極:平板氣浴電極,材質6061-T6鋁合金
    功率電極:1
    接地電極:1
    3. 電極尺寸:230mm *230mm(最大可處理產品尺寸,可處理8寸晶圓)
    4. 頻率:13.56MHz
    5. 功率:0-300W連續可調,可在設備運行中隨時調整參數。
    6. 氣體控制:精密針閥式浮子流量計, 0-1000ml   2路氣體
    7. 真空度測量儀器: 2色顯示式高精度數字式壓力開關(SMC)
    8. 控制方式:4.3寸工業控制觸摸屏,全手動控制和全自動控制兩種控制方式
    9. 控制軟件功能:界面顯示實時工作狀態
    10.設備規格尺寸:長600mm*寬600mm*高700mm
    11.電極板配置:配備3個卡槽位(接地電極),極板間距離可調整,可按需求調整極板位置

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